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    序號 
   
   
    特征 
   
   
    6吋參數 
   
   
    5吋參數 
   
  
      
  
      
   
    1
   
   
    外延層摻雜劑
   
   
    N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus
   
   
    N,N+:phosphorus,Arsine
      
         		
  
      
  
      
   
    2
      
         		
   
    外延層晶向
   
   
    <100>,<111>
      
         		
   
    <100>,<111>
      
         		
  
      
  
      
   
    3
      
         		
   
    外延層電阻率
   
   
    0.5～120Ω?cm
   
   
    0.5～120Ω?cm
      
         		
  
      
  
      
   
    4
   
   
    外延層電阻率中心值偏差
   
   
    ≤±2%
   
   
    ≤±2%
      
         		
  
      
  
      
   
    5
   
   
    外延層電阻率均勻性
   
   
    ≤±3%
      
         		
   
    ≤±3%
   
  
      
  
      
   
    6
   
   
    外延層厚度
   
   
    3～150μm
   
   
    3-150μm
   
  
      
  
      
   
    7
   
   
    外延層厚度中心層偏差
   
   
    ≤±1%
   
   
    ≤±1%
   
  
      
  
      
   
    8
      
         		
   
    外延層厚度均勻性
   
   
    ≤±3%
   
   
    ≤±3%
   
  
      
  
      
   
    9
      
         		
   
    翹曲度/彎度
   
   
    -60～60
   
   
    -50～50
   
  
      
  
      
   
    10
      
         		
   
    總厚度變化
   
   
    ≤18
   
   
    ≤10
   
  
      
  
      
   
    11
   
   
    堆垛層錯
   
   
    ≤5/cm2 
   
   
    ≤5/cm2 
   
  
      
  
      
   
    12
   
   
    滑移線
   
   
    ＜5條，同時總長度≤硅片直徑的1/2
   
   
    ＜5條，同時總長度≤硅片直徑的1/2
      
         		
  
      
  
      
   
    13
   
   
    霧
   
   
    NONE
   
   
    NONE
   
  
      
  
      
   
    14
      
         		
   
    劃傷
   
   
    NONE
      
         		
   
    NONE
      
         		
  
      
  
      
   
    15
      
         		
   
    凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪
   
   
    NONE
      
         		
   
    NONE
      
         		
  
      
  
      
   
    16
   
   
    崩邊
   
   
    NONE
      
         		
   
    NONE
      
         		
  
      
  
      
   
    17
   
   
    異物
   
   
    NONE
      
         		
   
    NONE
      
         		
  
      
  
      
   
    18
   
   
    背面沾污
   
   
    NONE
      
         		
   
    NONE
      
         		
  
      
  
      
   
    19
   
   
    點缺陷
   
   
    NONE
      
         		
   
    NONE
      
         		
  
      
       

          
      

      


      
	
      
    	
        
        	
      • 電話:13705597336
        電話:13956270581
        • 
            
            
      • 黃山芯微電子股份有限公司
        地址：安徽省黃山市祁門縣新興路449號
        • 
        
      
    
      

      



      
  


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